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Automatic Defect Classification System in Semiconductors EDS Test Based on System Entity Structure Methodology Système de classification automatique des défauts dans les tests EDS des semi-conducteurs basé sur la méthodologie de la structure des entités du système

Young-Shin HAN, SoYoung KIM, TaeKyu KIM, Jason J. JUNG

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Résumé:

Nous exploitons un schéma de représentation structurelle des connaissances appelé méthodologie System Entity Structure (SES) pour représenter et gérer les modèles de défaillance des plaquettes qui peuvent avoir une influence significative sur les FAB dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est important que les ingénieurs simulent divers processus de vérification du système en utilisant des entités système prédéfinies (par exemple, décomposition, taxonomie et relations de couplage d'un système) contenues dans le SES. Pour de meilleures performances de calcul, compte tenu d'un certain modèle de défaillance, un SES élagué (PES) peut être extrait en sélectionnant les seules entités système pertinentes du SES. Par conséquent, le système de simulation basé sur SES permet aux ingénieurs d'évaluer et de surveiller efficacement les données sur les semi-conducteurs en i) analyser les échecs pour découvrir les causes correspondantes et ii) gérer les données historiques liées à de telles pannes.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Information Vol.E93-D No.7 pp.2001-2004
Date de publication
2010/07/01
Publicisé
ISSN en ligne
1745-1361
DOI
10.1587/transinf.E93.D.2001
Type de manuscrit
LETTER
Catégories
Intelligence artificielle, exploration de données

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