La fonctionnalité de recherche est en construction.
La fonctionnalité de recherche est en construction.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Strain Effects in van der Pauw (VDP) Stress Sensor Fabricated on (111) Silicon Effets de déformation dans le capteur de contrainte van der Pauw (VDP) fabriqué sur silicium (111)

Chun-Hyung CHO, Ginkyu CHOI, Ho-Young CHA

  • Vues en texte intégral

    0

  • Citer

Résumé:

Nous avons fabriqué des capteurs de contraintes VDP (van der Pauw) sur des surfaces (111) en silicium. Ce travail se concentre sur l'étude des effets de déformation dans les capteurs de contraintes VDP, qui ont été généralement ignorés dans les travaux précédents, pour les mesures précises des contraintes de puce dans les boîtiers électroniques. La sensibilité aux contraintes a été observée comme étant environ 10 % plus grande pour les capteurs VDP de type p que pour les capteurs VDP de type n.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E93-C No.5 pp.640-643
Date de publication
2010/05/01
Publicisé
ISSN en ligne
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E93.C.640
Type de manuscrit
BRIEF PAPER
Catégories
de hauteur

Auteurs

Mots-clés

Table des matières