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Opto-Thermal Analysis of Blue Multi Laser Diode Annealing (BLDA) Analyse opto-thermique du recuit de diodes multi-laser bleues (BLDA)

Katsuya SHIRAI, Takashi NOGUCHI, Yoshiaki OGINO, Eiji SAHOTA

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Résumé:

L'analyse opto-thermique du recuit de semi-conducteurs à diodes multi-laser bleues (BLDA) pour un film de Si amorphe (a-Si) est réalisée en faisant varier la puissance d'irradiation, la vitesse de balayage et la forme du faisceau du laser bleu de 445 nm. Les profils thermiques, la température maximale du film a-Si et la durée de fusion sont évalués. En comparant les résultats simulés avec les résultats expérimentaux, l'excellente contrôlabilité du BLDA pour une taille de grain arbitraire peut être expliquée de manière cohérente par la relation entre le temps d'irradiation et la durée de fusion. Les résultats sont utiles pour estimer la phase polycristallisée telle que le Si micro-polycristallin, le Si polycristallin et la croissance latérale anisotrope du Si de type monocristallin.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E93-C No.10 pp.1499-1503
Date de publication
2010/10/01
Publicisé
ISSN en ligne
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E93.C.1499
Type de manuscrit
Special Section PAPER (Special Section on Frontier of Thin-Film Transistor Technology)
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