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Optical MEMS MEMS optiques

Hiroyuki FUJITA, Hiroshi TOSHIYOSHI

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Résumé:

Récemment, les applications des MEMS (systèmes microélectromécaniques) ont fait des progrès remarquables dans de nombreux domaines. L'application optique des MEMS est l'une des plus prometteuses car elle fournit des dispositifs micro-mécano-optiques, composants clés des systèmes hautes performances dans les réseaux de communication optiques et les dispositifs de stockage de données. Cet article discute des impacts des technologies MEMS sur les systèmes optiques. En outre, des exemples de pointe de micro-commutateurs optiques, de filtres accordables en queue de cochon et de scanners optiques MEMS bidimensionnels sont décrits.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.9 pp.1427-1434
Date de publication
2000/09/25
Publicisé
ISSN en ligne
DOI
Type de manuscrit
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on Current Electromechanical Devices and Their Materials with Recent Innovations)
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