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Automated Millimeter-Wave On-Wafer Testing System Système de test automatisé sur plaquette à ondes millimétriques

Takayuki KATOH, Takuo KASHIWA, Hiroyuki HOSHI, Akira INOUE, Takahide ISHIKAWA

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Résumé:

Un nouveau système CAT (Computer-Aided-Testing) sur plaquette à ondes millimétriques a été développé pour la mesure des paramètres S et du NF (niveau de bruit). Pour le système de test des paramètres S, nous avons développé une configuration de support et l'avons installée dans une sonde de plaquette semi-automatique afin que le module T/R basé sur un guide d'ondes puisse être directement connecté à une tête de sonde via des guides d'ondes fixes, qui présentent une faible perte d'insertion inférieure à 2 dB, de 75 GHz à 98 GHz. La précision du système de test développé a été confirmée en mesurant, avec ce système, un motif court décalé coplanaire, puis en comparant les résultats mesurés et simulés. Un bon accord entre les valeurs mesurées et calculées, tant dans la perte de retour que dans la phase de retour, a démontré avec succès la supériorité du système. Un système de test NF en bande W avec un bruit système inférieur à 8 dB a également été développé pour fournir une capacité de mesure NF sur plaquette avec une précision de 0.3 dB. Ces systèmes de test à paramètres S et NF possèdent de grands avantages pour réaliser des tests MMIC automatiques à grande vitesse jusqu'à la bande W.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.7 pp.1312-1317
Date de publication
1999/07/25
Publicisé
ISSN en ligne
DOI
Type de manuscrit
Special Section PAPER (Special Issue on Microwave and Millimeter Wave Technology)
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