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Automatic Defect Pattern Detection on LSI Wafers Using Image Processing Techniques Détection automatique des modèles de défauts sur les plaquettes LSI à l'aide de techniques de traitement d'image

Kazuyuki MARUO, Tadashi SHIBATA, Takahiro YAMAGUCHI, Masayoshi ICHIKAWA, Tadahiro OHMI

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Résumé:

Cet article décrit une méthode de détection de défauts qui extrait automatiquement les informations sur les défauts à partir de modèles LSI d'arrière-plan complexes. Sur la base d'une image au microscope électronique à balayage (MEB), les défauts sur la plaquette sont caractérisés en termes d'emplacement, de taille et de forme des défauts. Pour cela, deux techniques de traitement d'image, la transformée de Hough et la transformée en ondelettes, ont été utilisées. En particulier, la transformée de Hough pour les cercles est appliquée aux défauts non circulaires pour estimer la forme des défauts. Des expériences ont démontré que le système est très efficace pour l'identification des défauts et qu'il fera partie intégrante des futurs systèmes de classification automatique des types de défauts.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.6 pp.1003-1012
Date de publication
1999/06/25
Publicisé
ISSN en ligne
DOI
Type de manuscrit
PAPER
Catégories
Électronique intégrée

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