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Highly-Permissible Alignment Tolerance of Back-Illuminated Photo-Diode Array Attached with a Self-Aligned Micro Ball Lens Tolérance d'alignement hautement admissible d'un réseau de photodiodes rétro-éclairées fixé avec une lentille micro-sphérique auto-alignée

Kazuhiro NISHIDE, Kenji IKEDA, Xueliang SONG, Shurong WANG, Yoshiaki NAKANO

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Résumé:

Les résultats de simulation et de fabrication sur un réseau de photodiodes (PD) à 4 canaux rétro-éclairés avec une lentille micro-sphérique auto-alignée sont décrits. Le pas de canal et le diamètre de chaque zone photosensible sont respectivement de 250 µm et 40 µm. Le photocourant mesuré est 1.92 fois plus grand que celui sans lentille. La tolérance d'alignement entre l'axe optique de la fibre monomode (SMF) et la photodiode est améliorée de 21.2 µm à 42.7 µm. De plus, la tolérance de séparation entre la fibre et la lentille est de 210.5 µm. Ces grandes tolérances sont en accord avec les résultats de simulation, démontrant que la configuration du dispositif est adaptée aux récepteurs pour une interconnexion multicanal. La réponse en fréquence et la diaphonie inter-canaux sont également abordées.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E91-C No.9 pp.1472-1479
Date de publication
2008/09/01
Publicisé
ISSN en ligne
1745-1353
DOI
10.1093/ietele/e91-c.9.1472
Type de manuscrit
PAPER
Catégories
Lasers, Électronique quantique

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Mots-clés

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