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Electrostatically Actuated Two-Dimensional Optical Scanner Having a High Resonant Frequency Ratio of Fast/Slow Axes Scanner optique bidimensionnel à actionnement électrostatique présentant un rapport de fréquence de résonance élevé des axes rapides/lents

Hiroshi NOGE, Yosuke HAGIHARA, Kiyohiko KAWANO, Hideki UEDA, Takaaki YOSHIHARA

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Résumé:

Des scanners optiques résonants bidimensionnels actionnés par des peignes électrostatiques verticaux dotés d'une structure d'isolation électrique unique ont été développés. L'isolation du cadre mobile entourant le miroir à cardan de 1 mm de diamètre est réalisée en creusant la couche supérieure de silicium d'une plaquette SOI en laissant les couches inférieures épaisses. Grâce à la grande masse du cadre, les fréquences de résonance varient entre 65.0 et 89.2 Hz pour le cadre et entre 11.9 et 36.8 kHz pour le miroir dans un format de 4 mm.Puce de 4 mm. Le rapport de fréquence résultant des axes rapide/lent atteint plus de 500 et un tel rapport de fréquence élevé est utilisé pour afficher une image QVGA par balayage raster d'un faisceau laser.

Publication
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E91-C No.10 pp.1611-1615
Date de publication
2008/10/01
Publicisé
ISSN en ligne
1745-1353
DOI
10.1093/ietele/e91-c.10.1611
Type de manuscrit
Special Section INVITED PAPER (Special Section on Electronic Displays)
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